Microengineering of metals and ceramics 2 Special replication techniques, automation and properties / vol. eds. Detlef Löhe ..
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Weinheim
WILEY-VCH
2005
|
| Schriftenreihe: | Advanced micro & nanosystems
4 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Cover |
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| Beschreibung: | XV S., S. 357 - 644 Ill., graph. Darst |
|---|---|
| ISBN: | 3527314938 3-527-31493-8 9783527314935 978-3-527-31493-5 |