Microprocesses and nanotechnology [the 16th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2003) was held in the Tokyo Fashion Town, Tokyo, Japan from October 29 through 31, 2003]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Society of Applied Physics
2004
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Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers
43,6B : Special issue |
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Beschreibung: | S. 3653 - 4053, 15 S. Ill., graph. Darst. |
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