Microprocesses and nanotechnology [...papers, which were presented in the 13th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2000); the conference was held in the University of Tokyo, Komaba Campus, Tokyo, from July 11 through July 13, 2000]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ochiai, Yukinori (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo Publ. Office, Japanese Journal of Applied Physics 2000
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers 39,12B : Special issue
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Beschreibung
Beschreibung:S. 6771 - 7171 S.
Ill., graph. Darst.