Anwendungen der Fluoreszenzanalyse bei streifendem Einfall der Röntgenstrahlung zur "in-line" Bestimmung von Prozessparametern in der Halbleiterindustrie

Dresden, Techn. Univ., Diss., 2003

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Weiss, Cornelia (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2003
Schlagworte:	Hochschulschrift > Fluoreszenzanalyse > Röntgenstrahlung > Halbleiterindustrie > Parameter
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dresden, Techn. Univ., Diss., 2003
Beschreibung:	[3] Bl., 120 S. IIl., graph. Darst.