Materials reliability in microelectronics 9 Symposium held April 6-8, 1999, San Francisco, California, USA /eds.: Cynthia A. Volkert ..

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Volkert, Cynthia A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1999
Schriftenreihe:Materials Research Society symposia proceedings 563
Schlagworte:
Konferenzschrift > Werkstoff > Mikroelektronik > Dünne Schicht > Zuverlässigkeit
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 311 S.
Ill., graph. Darst.