Elektroneninduzierte Oxidation von dünnen Schichten aus amorphem Kohlenstoff eine neue Lithographiemethode und ihre Anwendungen

Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mühl, Thomas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2001
Schlagworte:
Hochschulschrift > Lithografie > Nanostrukturiertes Material > Rastersondenmikroskop > Kohlenstoff > Dünne Schicht > Amorpher Zustand
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001
Beschreibung:78 S.
Ill., graph. Darst.