Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Valiev, Kamilʹ A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rakov, Aleksandr V. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	rus
Veröffentlicht:	Moskva Radio i Svjazʹ 1984
Schlagworte:	Mikroelektronik > Ionenstrahlätzen > Ionenstrahlbearbeitung > Lithografie
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