Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | rus |
| Veröffentlicht: |
Moskva
Radio i Svjazʹ
1984
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | In kyrill. Schr., russ |
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| Beschreibung: | 349 S |