Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. S. Achenbach, 2000

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Achenbach, Sven (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pantenburg, Franz Josef (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 2000
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, FZKA 6576
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Röntgentiefenlithographie
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. S. Achenbach, 2000
Beschreibung:	Kurzfassung dt. u. engl
Beschreibung:	VI, 138 S. Ill., graph. Darst.