Ionenimplantation mit 50 Tab.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ryssel, Heiner (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ruge, Ingolf (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig Geest & Portig 1978
Schlagworte:	Ionenimplantation
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Beschreibung
Beschreibung:	Lizenzausg. d. Verl. Teubner Stuttgart
Beschreibung:	366 S. Ill., graph. Darst.