Papers from the International Workshop on Basic Aspects o Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces
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Körperschaft: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York
AVS
1998
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Schriftenreihe: | Journal of vacuum science and technology / A
16,1 |
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Beschreibung: | 381 S. graph. Darst. |
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