Papers from the International Workshop on Basic Aspects o Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York AVS 1998
Schriftenreihe:Journal of vacuum science and technology / A 16,1
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Beschreibung
Beschreibung:381 S.
graph. Darst.