MicroProcess 89 proceedings of the 1989 International Symposium on MicroProcess Conference, July 2-5, 1989, Kobe, Japan

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Ōyō-Butsuri-Gakkai (BerichterstatterIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn), IEEE Electron Devices Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Namba, Susumu (BerichterstatterIn), Kitayama, Toyoki (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo, Japan Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics c1989
Schriftenreihe:	JJAP series 3
Schlagworte:
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