Thin films: stresses and mechanical properties 6 Symposium held April 8 - 12, 1996, San Francisco, California, U.S.A. / ed.: William W. Gerberich...

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Gerberich, William W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1997
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposia proceedings 436
Schlagworte:	Konferenzschrift > Dünne Schicht > Spannungsanalyse > Mechanische Eigenschaft
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Beschreibung
Beschreibung:	XV, 542 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	1558993398 1-55899-339-8