Papers from the Eighth International Vacuum Microelectronics Conference 31 July - 3 August 1995, Portland, Oregon
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Körperschaften: | , |
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Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
1996
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Schriftenreihe: | Journal of vacuum science and technology / B
14,3 |
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Beschreibung: | S. 1883 - 2138 Ill., graph. Darst. |
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