Surface conditioning of vacuum systems Los Angeles, CA 1989 ; [in conjunction with the 22nd annual symposium of the combined Southern California AVS Chapters]
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Körperschaften: | , , |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York, NY
American Institute of Physics
c1990
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Schriftenreihe: | CONF
8904230 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstracts |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | X, 167 S Ill., graph. Darst |
ISBN: | 0883187566 0-88318-756-6 |