Materials and processes for microelectronic systems [proceedings of the Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems held during the First International Ceramic Science and Technology Congress held in Anaheim, CA, on October 31 - November 3, 1989]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	American Ceramic Society (BerichterstatterIn), Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems (BerichterstatterIn), International Ceramic Science and Technology Congress (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Nair, K. M. (HerausgeberIn), Pohanka, R. (BerichterstatterIn), Buchanan, R. C. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Westerville, Ohio American Ceramic Society c1990
Schriftenreihe:	Ceramic transactions 15
Schlagworte:	Microelectronics > Congresses > Integrated circuits > Ceramic materials > Konferenzschrift > Mikroelektronik > Keramischer Werkstoff
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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