Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics

Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics 3 Symposium held November 28-30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A

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Bibliographische Detailangaben
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburg, Pa. Materials Research Society 1995
Schriftenreihe:Materials Research Society symposia proceedings 363
Schlagworte:
Konferenzschrift > Metallischer Werkstoff > CVD-Verfahren > Keramischer Werkstoff
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