Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics 3 Symposium held November 28-30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A
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Format: | UnknownFormat |
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Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pittsburg, Pa.
Materials Research Society
1995
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Schriftenreihe: | Materials Research Society symposia proceedings
363 |
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Beschreibung: | XI, 284 S. Ill., graph. Darst |
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ISBN: | 1558992642 1-55899-264-2 |