Vakuumbeschichtung 1 Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik / Hans Frieder Döbele ...

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Döbele, Hans F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Schlagworte:	Vakuumbeschichten > Plasmaphysik > Plasmadiagnostik > Oberflächenanalyse > Dünne Schicht
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Beschreibung
Beschreibung:	XI, 337 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	3184013111 3-18-401311-1 3540622659 3-540-62265-9