Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Köhler, Uwe (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Guber, Andreas E. (BerichterstatterIn), Bier, Wilhelm (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum 1995
Ausgabe:	Als Ms. gedr
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt FZKA 5574
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Trockenätzen > Silicium > Ätzmittel > Halogene
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	52 S Ill., graph. Darst 30 cm