Process engineering analysis in semiconductor device fabrication

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Middleman, Stanley (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hochberg, Arthur K. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. McGraw-Hill 1993
Schriftenreihe:	McGraw-Hill chemical engineering series
Schlagworte:	Halbleiterbauelement > Fertigung
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