Über Struktur und Eigenschaften reaktiv gesputterter (Ti,Al)N- Hartstoffschichten

Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Will, Sabine (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1994
Schlagworte:
Hochschulschrift > Schicht > Hartstoff > Magnetronsputtern > Strukturanalyse > Eigenspannung > Titannitrid
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