Über Struktur und Eigenschaften reaktiv gesputterter (Ti,Al)N- Hartstoffschichten

Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Will, Sabine (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Hochschulschrift > Schicht > Hartstoff > Magnetronsputtern > Strukturanalyse > Eigenspannung > Titannitrid
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 1994
Beschreibung:	IV, 97, VII S.