Proceedings of the Fourth Symposium on Plasma Processing San Francisco, Calif., May 8 - 13, 1983

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Symposium on Plasma Processing (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (HerausgeberIn), Schwartz, G. C. (BerichterstatterIn), Smolinsky, G. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Dielectrics and Insulation and Electronics Div., Electrochemical Soc. 1983
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society 83,10
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:	X, 649 S. Ill., graph. Darst.