Impurity diffusion and gettering in silicon symposium ...

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Materials Research Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Fair, Richard B. (BerichterstatterIn), Pearce, Charles W. (BerichterstatterIn), Washburn, Jack (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. MRS 1985
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposia proceedings 36
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!