Vakuumbeschichtung 4 Anwendungen : Teil 1. Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen / Uwe Behringer ...
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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