Vakuumbeschichtung 4 Anwendungen : Teil 1. Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen / Uwe Behringer ...

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Weitere Verfasser: Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 1993
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