Mechanische Relaxationsmessungen an Al-Metallisierungsschichten
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibl.
1993
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Schriftenreihe: | Berichte / Forschungszentrum Jülich
2780 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Freie elektronische Version |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993 |
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Beschreibung: | Literaturverz. S. 74 - 75 |
Beschreibung: | 75 S. Ill., graph. Darst. |