Mechanische Relaxationsmessungen an Al-Metallisierungsschichten

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Prieler, Martin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jülich Forschungszentrum, Zentralbibl. 1993
Schriftenreihe:Berichte / Forschungszentrum Jülich 2780
Schlagworte:
Online Zugang:Freie elektronische Version
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1993
Beschreibung:Literaturverz. S. 74 - 75
Beschreibung:75 S.
Ill., graph. Darst.