Radio frequency power in plasmas Charleston, SC 1991
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York, NY
American Institute of Physics
1992
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Schriftenreihe: | CONF
910869 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstracts |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | XI, 399 S graph. Darst |
ISBN: | 0883189372 0-88318-937-2 |