Radio frequency power in plasmas Charleston, SC 1991

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Batchelor, Donald B. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY American Institute of Physics 1992
Schriftenreihe:CONF 910869
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XI, 399 S
graph. Darst
ISBN:0883189372
0-88318-937-2