Gmelin handbook of inorganic and organometallic chemistry system number 15 Si, Silicon Suppl.Vol. B5c Silicon nitride in microelectronics and solar cells / authors: Chapters 1 to 31 in coop. with Eberhard F. Krimmel ...
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg u.a.
Springer
1991
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| Ausgabe: | 8. ed. |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | XV, 400 S. graph. Darst. |
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| ISBN: | 3540936300 3-540-93630-0 0387936300 0-387-93630-0 |