Proceedings of the Symposium Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films [held October 20 - 24, 1986, in San Diego, Calif.]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kapoor, Vik J. (HerausgeberIn), Hankins, Kevin T. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1987
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society Dielectrics and insulation and electronics divisions 87,10
Schlagworte:	Thin film devices > Congresses > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Spine title: Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films Includes bibliographies and indexes
Beschreibung:	X, 550 S. Ill., graph. Darst.