Proceedings of the Sixth Symposium on Plasma Processing [held in San Diego, Ca., from Oct. 19 - 24, 1986]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Symposium on Plasma Processing (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (HerausgeberIn), Schwartz, G. C. (BerichterstatterIn), Gottscho, R. A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1987
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society Dielectrics and insulation and electronics divisions 87,6
Schlagworte:	Plasma engineering > Congresses > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Spine title: Plasma processing Includes bibliographies and indexes
Beschreibung:	X, 754 S. Ill., graph. Darst.