Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Jiang Xin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1990
Schlagworte:	Hochschulschrift > Kohlenstoff > Amorpher Zustand > Wasserstoff > Dünne Schicht > Mechanische Eigenschaft > Silicium
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990
Beschreibung:	Auch als: Berichte Forschungszentrum Jülich ; 2397
Beschreibung:	92 S. graph. Darst.