2. Fachtagung Schichtsysteme für Zukünftige Bauelemente der Mikro, Opto-, Bioelektronik und Optik

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Fachtagung Schichtsysteme für Zukünftige Bauelemente der Mikro-, Opto-, Bioelektronik und Optik (VerfasserIn), Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Scharff, Wolfram (BearbeiterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karl-Marx-Stadt Rektor der Technischen Univ. 1989
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Tagungen der Technischen Universität Karl-Marx-Stadt 1989,6
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikroelektronik > Optoelektronik > Bioelektronik > Optik
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Beschreibung
Beschreibung:	Literaturangaben
Beschreibung:	310 S. Ill., graph. Darst.