VLSI metallization

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Einspruch, Norman G. (HerausgeberIn, BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Orlando, Fla. u.a. Academic Press 1987
Schriftenreihe:	VLSI electronics, microstructure science 15
Schlagworte:	VLSI
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