Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente (BerichterstatterIn), Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Poll, Hans-Ullrich (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karl-Marx-Stadt Techn. Hochsch. 1985
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt 1985,4
Schlagworte:	Beschichten > Plasmaätzen
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