Silicon processing a sympos. spons. by ASTM Committee F-1 on Electronics, Nat. Bureau of Standards, and Stanford Univ., San Jose, Calif., 19 - 22 Jan. 1982

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	ASTM Committee F-1 on Electronics (BerichterstatterIn), USA National Bureau of Standards (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gupta, Dinesh C. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Philadelphia, Pa. ASTM 1983
Schriftenreihe:	ASTM special technical publication 804
Schlagworte:	Konferenzschrift > VLSI > Silicium > Mikroelektronik > Verarbeitung
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Beschreibung
Beschreibung:	559 S. Ill.