Energie- und Fluenzabhaengigkeit der Zerstaeubungsausbeute von Silizium bei Beschuss mit Edelgasionen

München, Univ., Diss., 1977

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Blank, Peter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1977
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Edelgasion > Zerstäubung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	München, Univ., Diss., 1977
Beschreibung:	3 Bl., 72 S., 2 Bl. Ill.