ECSEL-Projekt: "Seven Nanometer Technology" (SeNaTe), Teilvorhaben: EUV Prüfoptiken und Masken Schlussbericht zum Vorhaben : Laufzeit: 01.04.2015-31.03.2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Naasz, Sandra (VerfasserIn)
Körperschaft:	Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Hartbaum, Julian (VerfasserIn), Butschke, Jörg (VerfasserIn), Wintrich, Patrick (VerfasserIn), Gulde, Martin (VerfasserIn), Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Institut für Mikroelektronik Stuttgart 28.11.2018
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16ESE0038. - Verbund-Nummer 01160608 Autoren und Paralleltitel wurden dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	55 Seiten Illustrationen, Diagramme