2nd International Workshop Atomic Layer Deposition: Russia 2017 (ALD Russia-2017) September 24-30, 2017, Saint-Petersburg : book of abstracts

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: International Workshop on Atomic Layer Deposition Russia (VerfasserIn), Russland Ministerstvo obrazovanija i nauki (VeranstalterIn), Sankt-Peterburgskij gosudarstvennyj technologičeskij institut (VeranstalterIn)
Weitere Verfasser: Aleskovskij, Valentin Borisovič (WidmungsempfängerIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Saint Petersburg SPSIT 2017
Schlagworte:
Konferenzschrift > Atomlagenabscheidung
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
"The workshop is dedicated to the 105th Anniversary of Valentin B. Aleskovskii" - Vorwort
Beschreibung:75 Seiten
Illustrationen, Diagramme