Validierung des Innovationspotentials von XUV Kohärenztomografie zur zerstörungsfreien, dreidimensionalen Bildgebung von Nanostrukturen XUV Kohärenztomografie - Abschlussbericht : Kurztitel: X-CohrentT : Laufzeit: 01.10.2013-30.09.2016 = Validation of the innovative potential of extreme ultraviolet coherence tomography for non-destructive three-dimensional imaging of nano-structures

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Paulus, Gerhard G. (VerfasserIn)
Körperschaft:	Friedrich-Schiller-Universität Jena Institut für Optik und Quantenelektronik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Fuchs, Silvio (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jena Friedrich-Schiller-Universität Jena 31. März 2017
Schlagworte:	Forschungsbericht > Optische Kohärenztomografie > Extremes Ultraviolett
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 03V0690 weiteren Autor und durchführende Institution dem Berichtsblatt entnommen. - Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	36 Blätter Illustrationen, Diagramme