Seven Nanometer Technology SeNaTe SENATE Schlussbericht Fabmatics : Berichtszeitraum: 01.04.2015-31.03.2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Richter, Stefan (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fabmatics GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Erler-Lohse, Nadja (VerfasserIn), Hantzschmann, Karli (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Fabmatics GmbH 06.09.2018
Ausgabe:	Revision 4.0
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16ESE0045S. - Verbund-Nummer 01160608 Autoren dem Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	20 Blätter, 2 ungzeählte Blätter Illustrationen, Diagramme