A calorimetric study of plasma based thin film deposition applications

Dissertation, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Haase, Fabian (VerfasserIn)
Körperschaft:	Christian-Albrechts-Universität zu Kiel (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Kersten, Holger (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Kiel 2018
Schlagworte:	Hochschulschrift > Dünne Schicht > Plasmaphysik > Kalorimetrie
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 2018
Beschreibung:	vii, 141, V Seiten Illustrationen