Teilvorhaben: Erstellung PECVD-Plasmareaktor und Analyse des Plasmaprozesses innerhalb des Verbundprojektes: "Simulation - Plasma - Analytik - Experiment: Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen" Kurzbezeichnung: SIMPLEX : Schlussbericht zum BMWi-Projekt : Projektlaufzeit: 01.10.2014 bis 30.09.2017 (Kostenneutral verlängert bis 31.12.2017)
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Kahl am Main
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
2018-06-27
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWi 0325754A. - Verbund-Nummer 01154817 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 37 Seiten, 1 ungezähltes Blatt Illustrationen, Diagramme |