Herstellung nanostrukturierter Masterwerkzeuge mittels 3D-Laserlithographie für die UV-Replikation diffraktiver optischer Elemente (LithURep), Teilprojekt: Entwicklung eines thermisch stabilen Photopolymersystems für die Zwei-Photonen-Lithographie Förderprogramm: KMU-innovativ: Produktionsforschung : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens von: 01.05.2015 bis: 31.07.2017
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
micro resist technology GmbH
30.1.2018
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 02P14K612. - Verbund-Nummer 01162524 Projektleiter ist laut Berichtsblatt Autor "Dr. Jan Jasper Klein, Dr. Maria-Melanie Russew" - Fußzeile Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 1, 7 Blätter, 1 ungezähltes Blatt Illustrationen, Diagramme |