Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium

Dissertation, Universität Stuttgart, 2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Diez, Michael (VerfasserIn)
Körperschaft:	Universität Stuttgart (Grad-verleihende Institution)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Herbert Utz Verlag, Wissenschaft 2018
Schriftenreihe:	Laser in der Materialbearbeitung
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Einkristall > Laserbearbeitung > Impulsformung > Nanosekundenbereich > Gitterbaufehler > Schmelzen > Erstarrung > Diffusion > Prozessführung
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Universität Stuttgart, 2018
Beschreibung:	183 Seiten Illustrationen, Diagramme 20.5 cm x 14.5 cm
ISBN:	9783831647378 978-3-8316-4737-8 3831647372 3-8316-4737-2