20 nm-Resolved Stress Profile in SiGe Nano-Stripes Obtained by Tip-Enhanced Raman Spectroscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handbook of enhanced spectroscopy
1. Verfasser:	Chaigneau, Marc (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Vanacore, Giovanni Maria (VerfasserIn), Bollani, Monica (VerfasserIn), Picardi, Gennaro (VerfasserIn), Tagliaferri, Alberto (VerfasserIn), Ossikovski, Razvigor (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2016
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