"Großflächige UV-Rekombinationstechnologie zur Übertragung von Nanostrukturen auf Gen 4 Fomat" Schlussbericht zum Vorhaben : im Rahmen des Eurostars Projekts E!8516 ANILP "Development of advanced nanoimprint lithography platform for large-area nanopatterning" : Projektlaufzeit: 01.11.2013 - 31.10.2016

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Humbach, Oliver (VerfasserIn)
Körperschaft: temicon GmbH (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dortmund temicon GmbH 2016
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Beschreibung
Beschreibung:Förderungskennzeichen BMBF 01QE1318C. - Verbund-Nummer 01149693
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Beschreibung:19 Seiten
Illustrationen, Diagramme