Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomanlagenabscheidung

Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Knaut, Martin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Dresden (Grad-verleihende Institution)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Hamburg tredition GmbH 2018
Schlagworte:	Hochschulschrift > Schwingquarz > Atomlagenabscheidung > Messtechnik > Schichtwachstum
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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