Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomanlagenabscheidung

Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomanlagenabscheidung

Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Knaut, Martin (VerfasserIn)
Körperschaft: Technische Universität Dresden (Grad-verleihende Institution)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Hamburg tredition GmbH 2018
Schlagworte:
Hochschulschrift > Schwingquarz > Atomlagenabscheidung > Messtechnik > Schichtwachstum
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017
Beschreibung:x, 165 Seiten
Illustrationen, Diagramme
ISBN:9783746919782
978-3-7469-1978-2