Alternative Messmethodik zur anwendungsnahen Charakterisierung von EUV-Reflektoren mit hoher IR-Unterdrückung Abschlussbericht : Laufzeit: Januar 2014 - Dezember 2016

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Scholze, Frank (VerfasserIn)
Körperschaften: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Arbeitsgruppe 7.12 EUV-Radiometrie (Herausgebendes Organ), optiX fab GmbH (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB, AG 7.12 EUV-Radiometrie 4.12.2017
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMWi VIIA5_9-13
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